.目前存在3種結(jié)構(gòu)的體聲波諧振器:硅反面刻蝕型、空氣隙型及固態(tài)裝配型(solidly mountedresonator, SMR ) .其中前兩者均通過壓電薄膜上下的空氣界面來反射聲波,雖然這兩種4 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 5 軍峰李平周志坤鄭敏楊進(jìn)無源無線聲

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他在~篇文章中討論了固態(tài)裝配型諧振器(Solidly MountedResonator,S脹)中布拉格四分 SMR器件。而在1967年,Sliker等人采用種方法制成了個(gè)CdS薄膜諧振器pJ。但4 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 5 軍峰李平周志坤鄭敏楊進(jìn)無源無線聲

硫錳礦石紅土鎳破碎機(jī)械廠家磨.固定液壓破碎機(jī)固體廢料破碎機(jī)廣西金固水泥電話固元膏磨粉機(jī)固態(tài)裝配諧振器smr.金礦石加. 詳細(xì)介紹 馬可波羅網(wǎng)鄭重提醒:過低的價(jià)格和夸3 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 4 軍峰李平周志坤鄭敏楊進(jìn)無源無線聲

固態(tài)裝配諧振器smr,SMR8SMRS.道客巴巴(doc88.com)是一個(gè)在線文檔分享平臺(tái)。你可以上傳論文,研究報(bào) 光電子器件與系統(tǒng)教育部實(shí)驗(yàn)室廣東深胡摘要通過建市固態(tài)裝配諧振器模型考慮硅4 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 5 軍峰李平周志坤鄭敏楊進(jìn)無源無線聲

采用有限元分析軟件Comsol Multiphics構(gòu)建諧振器三維模型,研究器件結(jié)構(gòu)、材料對(duì)其熱性能的影響。固態(tài)裝配型諧振器(SMR)有更好的熱傳導(dǎo)能力與熱應(yīng)力穩(wěn)定性。在SMR器3 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 4 軍峰李平周志坤鄭敏楊進(jìn)無源無線聲

體聲波諧振器分為空氣隙型(FBAR)、固態(tài)裝配型(SMR)和硅背刻蝕型諧振器。傳統(tǒng)體聲波諧振器的制備工藝復(fù)雜、成本高。為了降低體聲波諧振器的工藝門檻,使其得到更廣泛摘要固態(tài)裝配型諧振器(Solidly Mounted Resonator,SMR)是一種 MEMS振動(dòng)器件,在生物傳感等方面應(yīng)用十分廣泛。SMR具有高 20 GHz的振動(dòng)頻率、亞納米量級(jí)的振動(dòng)幅度.

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摘要 采用有限元分析軟件Comsol Multiphics構(gòu)建諧振器三維模型,研究器件結(jié)構(gòu)、材料對(duì)其熱性能的影響。固態(tài)裝配型諧振器(SMR)有更好的熱傳導(dǎo)能力與熱應(yīng)力穩(wěn)定性。在SM4 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 5 軍峰李平周志坤鄭敏楊進(jìn)無源無線聲

1湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（下）[C]2007年 2張輝張淑儀電極和基片對(duì)高次諧波體聲3 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 4 軍峰李平周志坤鄭敏楊進(jìn)無源無線聲

4 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 5 鄧玉芬過明益范德睿小型微帶發(fā)夾式諧2 湯亮郝震宏喬?hào)|海汪承灝ZnO固態(tài)裝配型諧振器(SMR)的模擬分析[A]中國(guó)聲學(xué)學(xué)會(huì)2007年青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集(下)[C]2007年 3 鄧玉芬過明益范德睿小型微帶發(fā)夾式諧

固態(tài)裝配諧振器smr,山東科技大學(xué)碩士學(xué)位論文摘要摘要近來,薄膜體聲波諧振器(Film Bulk Acoustic Reson 圖 1.2(c)為固態(tài)裝配(Solidly Mounted Resonator,SMR)型 FBAR。這種器件采用 高低阻德國(guó)的 Infneon公司在 2003推出了具有布拉格反射層結(jié)構(gòu)的固貼式(又稱固態(tài)裝配型)薄膜體聲波諧振器(SMRFBAR) [910]而我國(guó)關(guān)于薄膜體聲波諧振器的研究才剛剛起步,距離